Ошибка с ssl cloudflare на ubuntu 16.04 apache2, как решить?

Купил домен, перенаправил на cloudflare, включил ssl (full) и получил 521 ошибку. Далее открыл 443 порт, получил 525 ошибку. При flexible все работает, но
Вообщем не знаю что делать. Пробовал через Let’s Encrypt сертификат сделать, ничего не вышло (не заработало).
Подскажите, что делать?